대기환경사업

연구개발Research and Development

계열회사 소개

흡착제/케미컬 필터Adsorbents & Chemical filters

연구분야 개요

연구방향

반도체·디스플레이 산업은 고도 미세공정에 의해 집적화 기술이 향상되고 있고, 이를 위해 클린룸 내 미세입자와 가스 성분인 AMC* 제어가 필수적으로 요구되고 있습니다. 에코프로는 고기능성 흡착제 및 케미컬 필터 연구를 하여 전자제품 제조 클린룸 및 생활환경 공기질 향상에 필요한 솔루션을 제공하고 있습니다.

* Airborne Molecular Contamination의 약자로 휘발성 유기화합물, 산염기가스, 오존 등

주요 연구 분야

  • 고기능성 흡착제·촉매 개발
  • 반도체·디스플레이 Fab 및 공정장비용 AMC정화 케미컬필터 개발
  • 악취 및 유해가스 제거 기술 개발
  • 생활환경 공기질(IAQ: Indoor Air Quality)개선 필터 개발

참고자료

물리 흡착 Mechanism

화학 흡착 Mechanism

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